中微半导体：虎口夺食

长期以来，中国LED外延芯片MOCVD设备市场一直被美国维易科(Veeco)和德国爱思强(Aixtron)两大巨头霸占，虽然中国本土化设备已经开始走进企业生产线，但是，习惯于使用进口设备的国内LED芯片企业对国产设备的认知还需要跨过“信心门槛”。

最近一年多，两大巨头的低价竞争更让中国本土设备企业面临极大的生存挑战，使得MOCVD设备产业进入门槛变得更高。面对海外设备商抛出的竞争性压迫，中国MOCVD设备企业能否顶得住压力，扛起国产化的大旗，实现国产MOCVD设备“虎口夺食”?为此，记者专访了中微半导体设备有限公司(简称“中微”)资深副总裁杜志游博士，请他介绍了中微在加速MOCVD设备国产化进程中获取的宝贵经验。

重视研发 强化专利

像在其他许多高技术行业一样，半导体设备行业，已经盘踞市场的先行者们绝不会轻易给“后来者”以瓜分的机会。打专利牌、在知识产权问题上“找茬”的手段最为常用。然而，中微对此早有准备，见招拆招，得心应手。

中微面对巨头们的专利“挑衅”，不是退缩和忍让，而是沉着应战、攻守得当。中微所经历的几场国际专利官司无不以胜诉或和解收场，这已经在业内被赞为中国知识产权保护的佳话。

杜志游博士表示，从中微过去和美国的半导体制造巨头之间的几场专利官司可以看出，中微在专利申请和保护上一贯十分重视和谨慎，在注重自身专利保护的同时也不侵犯别人的专利。因此，中微从来没有输过专利官司。可以这么说，中微树立了中国企业在专利保护方面的典范，改变了中国的高科技公司在知识产权方面相对“软弱”的局面。

中微在专利官司上能做到“知己知彼，百战不殆”，当然这也得益于其背后优秀的科研团队和知识产权团队作为支撑。同时，中微优秀的科研团队不断地创新，支撑起了一个保护自主知识产权的专利体系。据了解，目前中微有一半以上的员工从事研发工作。

从研发上来说这是一个很大的团队。通过十年的发展和积累，中微已经申请了几百余项国内外专利，涉及MOCVD的专利已超过百项，其中大部分专利已被授权。从研发团队的组建到专利技术的申请，企业的投入之重令人叹服，这也足以看出中微在微观设备研发和创新上所做的不懈努力。

中国的半导体设备工业起步较晚，在这样的情况下企业如何吸引全世界的人才，成为企业长足发展所要考虑的另一个重要因素。“中微是一个研发型企业，其核心不是说企业有多少设备、多少厂房、多少土地，而是说有多少优秀的、一流的人才。人才在中微被视为企业发展的头等大事，中微为此不遗余力。”杜志游博士告诉记者。

目前，中微拥有三大类产品，第一大类是最早研发的等离子介质刻蚀机，主要使用在半导体IC芯片制造行业;第二大类是硅通孔刻蚀设备，主要用在IC芯片的先进封装上;第三类就是MOCVD设备，主要用于半导体照明LED芯片的生产。

杜志游博士表示，“为保证我们的产品能够在国际市场上取得竞争优势，就要在技术上不断创新，并且使产品具有更高的性价比。在中微，我们一直有一个‘为整体经济效益创新’的产品革新理念，也就是说，要让我们的产品使用者，乃至顺着产品链向下游延伸的企业，都能因为我们的创新而获得经济上的效益，这比技术上的革新更难，但却更有意义。中微一直都在朝着这个方向努力。”

打破门槛 崭露头角

当前，美国Veeco和德国Aixtron两家公司占领了全球几乎所有的MOCVD设备市场。二者在国际MOCVD设备市场上的占有率多年来连续超过90%，形成了寡头垄断的格局，同样也垄断了中国的MOCVD设备市场。其技术水平、规模效应、品牌效应、客户资源等都达到了相当的高度。对于国产MOCVD设备来说，要实现设备的国产化，除了要面对来自巨头们的竞争压力，还有一道用户的“信心门槛”有待跨越。

CSA Research指出，MOCVD设备很大程度上从成本、产量等方面制约了中国LED产业的健康快速发展。实现大型MOCVD设备及关键配套材料的国产化，将是提升我国整个LED产业的技术及创新能力的历史转折点。正是由于国内MOCVD设备进口替代潜力显著，这对产业发展的意义更为重大。

2013年3月，中微正式发布多反应器金属有机化合物气相沉积设备(MOCVD)，并宣布进入半导体照明市场，一时间成为国内外设备商以及LED芯片企业重点关注的对象。“中微的MOCVD设备已经先后在两家客户的LED芯片生产线上成功运行并实现量产，客户十分满意。”杜志游博士透露，“基于这样的情况，中微会在今年下半年进入更多的客户，其中包括国内以及海外客户。”

“数据会说话。我们正在用自己过硬的产品，帮助用户建立起对国产设备的信心。有关领导部门也在通过政策运用，鼓励和促成国产MOCVD设备进入生产线。随着中微的MOCVD设备被越来越多的用户认可，我们有信心也有能力使国产设备在一个竞争激烈的市场上取得一席之地，并且获得越来越大的市场份额。”杜志游博士自信地说。

突破壁垒 加速国产化

通过查阅两大设备巨头的财务报表发现，他们都在赔钱，但是目前的设备价格比当初降了40%～50%，有的地方甚至降了60%。业内人士称，两大设备商的降价是为了构筑半导体设备领域的“垄断固化”壁垒，压制国产MOCVD设备的出头，其目的是通过压缩设备的利润空间迫使国产设备退缩，以实现长期霸占MOCVD设备市场的目的。

杜志游博士认为，中微已经突破了MOCVD设备技术上的壁垒，并且已经进入了这个市场。同时，打破垄断实现竞争对客户是有利的。第一，竞争能够使得技术不断地向前发展;第二，竞争能够促使设备的性价比更高。这就会使得整个LED行业的成本下降，也会促进LED市场的渗透率提高。中微在这两方面也一直在努力。

CSA Research数据显示，随着通用照明应用规模的持续增长，生产照明用LED芯片所需MOCVD的数量将达到数千台。近年来，我国半导体照明产业对MOCVD的需求量一直占全球需求量的60%以上，是全球需求量最高的地区。预计2014年，我国新增MOCVD数量将在150台左右，总的MOCVD设备保有量将达到1240台。

但杜志游博士认为，“如今的企业扩产热度不同以往，大家对待产能扩张还是比较谨慎的，企业通过并购会把一些闲置的产能利用起来，效率也会提高，所以扩产情况可能不会像前几年那样迅猛。好在LED市场才刚刚起来，产能过剩也只是暂时的现象，产能应当会在一两年之内被消化掉。总的来说，LED行业还是会向前走，因为LED照明市场前景十分广阔。”

最后，杜志游博士表示，无论从技术还是市场角度来说，目前的国产MOCVD设备都已经取得了突破性的进展，各项性能指标都已达到国外同类设备的水平，有些指标还有所超越。现在需要做的，是各行各业包括政府在内共同努力，加一把火，加快设备国产化的进程。中微希望能促进MOCVD设备的国产化，促进国产设备在LED领域的应用，同时也希望通过中微的MOCVD设备来帮助客户实现更好的生产效率、用更好的产品回报社会。我们作为社会的一份子，也将享受到LED带给我们的光明。