中微公司:发布双反应台电感耦合等离子体刻蚀设备,入股睿励科学仪器

2021-03-17 照明小编 www.gdzrlj.com
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中微公司发布双反应台电感耦合等离子体刻蚀设备

中微半导体设备(上海)股份有限公司(简称“中微公司”)在SEMICON China 2021期间正式发布了新一代电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备Primo Twin-Star,用于IC器件前道和后道制程导电/电介质膜的刻蚀应用。

中微公司:发布双反应台电感耦合等离子体刻蚀设备,入股睿励科学仪器


基于中微公司业已成熟的单台反应器的电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术和双台反应器的Primo平台,Primo Twin-Star为电介质前道/后道制程、多晶硅刻蚀、DTI和BSI刻蚀等提供了高性价比的刻蚀解决方案。它的创新设计包括:Primo Twin-Star使用了双反应台腔体设计和低电容耦合3D线圈设计,创新的反应腔设计可最大程度减弱非中心对称抽气口效应,通过采用多区温控静电吸盘(ESC)增强了对关键尺寸均匀性和重复性的控制。

凭借这些优异的性能和其他特性,与其他同类设备相比,Primo Twin-Star 以更小的占地面积、更低的生产成本和更高的输出效率,进行ICP适用的逻辑和存储芯片的介质和导体的各种刻蚀应用,并用于功率器件和CMOS图像传感器(CIS)的刻蚀应用。由于Primo Twin-Star反应器在很多方面采取了和单台机Primo nanova相同或相似的设计,在众多的刻蚀应用中,Primo Twin-Star显示了和单台反应器相同的刻蚀结果。这就给客户提供了高质量、高输出和低成本的解决方案。

中微公司的Primo Twin-Star刻蚀设备已收到来自国内领先客户的订单。目前,首台Primo Twin-Star设备已交付客户投入生产,良率稳定。公司还在进行用于不同刻蚀应用的多项评估。Primo Twin-Star设备优化了中微公司电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备产品线。


中微公司入股睿励科学仪器

企查查APP显示,3月15日,睿励科学仪器(上海)有限公司发生工商变更,新增股东中微公司(688012),同时公司注册资本由3.1亿元人民币增加至4.28亿元人民币,增幅为38.03%。企查查信息显示,睿励科学仪器是一家集成电路制造商,公司成立于2005年,法定代表人为FENG YANG(杨峰),经营范围包含:研制、生产半导体设备,销售自产产品,提供相关的技术服务。

中微公司:发布双反应台电感耦合等离子体刻蚀设备,入股睿励科学仪器