晶盛机电碳化硅外延设备已通过客户验证

晶盛机电称，公司是国内领先的半导体材料装备和LED衬底材料制造的高新技术企业,以“打造半导体材料装备领先企业，发展绿色智能高科技制造产业”为使命，围绕硅、碳化硅、蓝宝石三大主要半导体材料开发出一系列关键设备，并适度延伸到材料领域。在硅材料领域，公司开发出了应用于光伏和集成电路领域两大产业的系列关键设备，包括全自动晶体生长设备（单晶生长炉、区熔硅单晶炉、多晶铸锭炉）、晶体加工设备（单晶硅滚磨机、截断机、开方机、金刚线切片机等）、晶片加工设备（晶片研磨机、减薄机、抛光机、外延设备、LPCVD设备等）、叠瓦组件设备等。

在碳化硅领域，晶盛机电的产品主要有碳化硅长晶设备及外延设备；在蓝宝石领域，公司可提供满足LED照明衬底材料和窗口材料所需的蓝宝石晶锭和晶片。同时，公司还建立了以高纯石英坩埚、抛光液及半导体阀门、管件、磁流体、精密零部件为主的产品体系以配套半导体关键零部件、辅材耗材方面的需求。公司产品主要应用于集成电路、太阳能光伏、LED、工业4.0等具有广阔发展前景的新兴产业。

晶盛机电在光伏产业链装备取得了行业认可的技术和规模双领先的地位，在8-12英寸大硅片设备领域，公司产品在晶体生长、切片、抛光、外延等晶片材料环节已基本实现8英寸设备的全覆盖和国产化替代，12英寸长晶设备及部分加工设备也已实现批量销售，产品质量已达到国际先进水平。

蓝宝石材料方面，公司大尺寸蓝宝石晶体生长工艺和技术已达到国际领先水平，目前已成功生长出全球领先的700Kg级蓝宝石晶体，建立了规模化生产基地，是掌握核心技术及规模优势的龙头企业。公司碳化硅外延设备已通过客户验证，同时在碳化硅晶体生长、切片、抛光环节已规划建立测试线，以实现装备和工艺技术的领先，加快推进第三代半导体材料碳化硅业务的前瞻性布局。

晶盛机电称，2020年随着国家“2030碳达峰”、“2060碳中和”目标的提出和实施，标志着中国将全面进入绿色低碳高质量发展阶段，光伏市场将高速增长，带动着全产业链的扩产。因为光伏组件产品中，从成本上，硅片是第一大成本项，光伏电池效率与硅片质量强相关。因此，晶体装备是推动光伏平价上网的重要力量。就在2019年中环推出了G12硅片，用12英寸的晶体取代原来8英寸的晶体，这个蛙跳式的创新，大大降低了光伏发电成本。这个一个产业中上下游一起联合创新结果，需要硅片设备商、电池设备商还有硅片和电池厂一起联动才能取得的产业创新。

此外，蓝宝石材料方面，晶盛机电拥有国际领先的超大尺寸蓝宝石晶体生长技术，建立了从长晶到切磨抛环节的生产能力，目前已成功生长出全球领先的700Kg级蓝宝石晶体，建立了规模化生产基地，是掌握核心技术及规模优势的龙头企业。 面向LED与视窗防护领域，可提供满足客户需求的蓝宝石晶体、晶棒和晶片等各类蓝宝石部件。公司与消费电子视窗防护领域的制造龙头蓝思科技合作，成立宁夏鑫晶盛电子材料公司，从事蓝宝石材料的生产及加工，为蓝宝石材料在消费电子应用领域的规模应用提前布局。目前宁夏鑫晶盛的建设工作有序推进中，厂房建设和设备进场按预期计划顺利进行。

碳化硅方面，晶盛机电指出，碳化硅作为第三代半导体材料的典型代表，具有高禁带宽度、高电导率、高热导率等优越物理特征。但其制作的技术门槛较高，良率低，成本较高制约其发展，导致行业的整体产能远不及市场需求。碳化硅晶片尺寸向大尺寸方向发展，以不断提高下游对碳化硅晶片的利用率和生产效率，6英寸晶片将成为主流。 公司近年布局的第三代半导体材料碳化硅的研发取得关键进展，成功生长出6英寸碳化硅晶体，公司将持续加强碳化硅长晶工艺和技术的研发和优化，并做好研产转化，建立生长、切片、抛光测试线，在量产过程中逐步打磨产品质量，掌握纯熟工艺和技术，公司碳化硅外延设备已通过客户验证。