合肥欣奕华研制出大尺寸Mini LED背光量产用巨量转移设备
近两年,众多国内电视品牌相继推出Mini LED背光电视,高规格大尺寸的Mini LED背光电视产品成功打开市场话题。Mini LED背光电视的市场化,意味着半导体显示产业已经有能力解决Mini LED制程环节面临的最大技术难题——巨量转移。合肥欣奕华智能机器有限公司(以下简称“合肥欣奕华”)作为国内泛半导体高端装备研发企业之一,也参与到了Mini LED巨量转移技术的研发攻关,并于近期成功研制出了大尺寸Mini LED背光量产用的巨量转移设备,导入客户量产。它的研制成功及顺利导入产线,将助力Mini LED显示产业完成“市场跳跃”。
相较于小尺寸基板的巨量转移,大尺寸基板的巨量转移在高速驱动、精度控制等方面的难度会呈现指数级提升。大尺寸Mini LED巨量转移设备的制程技术开发难度更大、设计复杂度更高,不仅需要独特的转移技术方案设计、设备减振与轻量化设计、设备稳定性与寿命设计、高速高精度驱动与控制开发、视觉识别与计算等技术开发,还要深刻理解和掌握大尺寸Mini LED显示产品的量产制造工艺要求和对工艺参数的精准控制。为了攻克这些全球化技术难题,合肥欣奕华对高频率定位的运动过程、高频运动机械机构的振动特性、高频冲击状态下的材料时变性能、高频运动最优控制方法进行综合研究,结合设备特性开发了特有的运动轨迹,选择了最优的材料和热处理方式,优化了控制策略与控制参数,实现了高频高速稳定定位;对机构的几何误差特性、热变形特性、基于视觉的位置误差检测方法进行研究,开发了成套的实时误差测量与误差补偿技术,解决了物料位置误差测量、设备误差测量、建模及补偿过程的一系列问题,实现了二维平面内的精密对位。同时,合肥欣奕华与资深行业用户深入合作,就巨量转移的使用环境、具体工艺过程和工艺参数对综合效率的影响进行研究,不断优化设备的环境适应性、转移工艺过程和关键工艺参数,充分发挥设备固有的性能,提高了转移效率。
合肥欣奕华在泛半导体高端装备领域发力已久,公司成立至今,已先后组建了安徽省企业技术中心、省级博士后科研工作站、安徽省新型显示用机器人工程研究中心、安徽省工业设计中心,搭建了国内领先的技术开发和试验验证平台;主持并承担国家重点研发计划项目1项、国家重点技术攻关项目2项;开发出国内首台套高世代TFT基板线路断路/短路缺陷检测设备和OLED蒸镀机等高端装备,助力新型显示战略新兴产业快速发展。大尺寸Mini LED巨量转移设备的成功量产导入是合肥欣奕华助力显示产业发展的重要一环,后续企业将继续加强工业机器人 高端装备 智慧工厂综合解决方案的业务矩阵,与全球合作伙伴一起,助力半导体显示产业生态高速发展。
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