常见的等离子清洗机真空压力单位，这3个你熟悉吗？

等离子清洗机的真空度，是影响等离子表面处理效果重要的因素之一。国内品牌的等离子清洗机常用的真空度压力单位基本是帕（Pa），但是不同国外品牌的等离子清洗机就会出现托（Torr）、巴（bar）等单位，相互之间如何换算，有的时候不太容易搞得清楚。今天我们就来梳理一下常见的几个真空压力单位，供大家参考。

1 等离子清洗机的真空、真空度和压力单位

等离子清洗机是指真空反应腔室里面低于标准大气压的气体状态，微观上来讲就是腔体内的气体分子密度小于大气压的分子密度，不同的真空状态意味着不同的分子密度。

真空度反应的是真空状态空间气体的稀薄程度，通常用气体压力值来来表示。真空度越高，压力值越小；真空度越低，压力值越大。

压力单位反应真空压力值的大小，由于历史和习惯的原因，不同的国家和地区使用的单位有所区别。

2 等离子清洗机几种常见的真空压力单位和相互之间的换算

国内外品牌等离子清洗机比较常见的真空压力单位有3个，即帕斯卡（Pa）、托（Torr）、巴（bar），其中后面两个单位欧美系的品牌比较常见。

2-1 帕斯卡（Pa），简写帕，国际单位制，我国法定压力单位，是为纪念法国物理学家与数学家帕斯卡而命名。换算关系如下：

1 帕（Pa）= 7.5×10^-3托（Torr）=10^-2毫巴（mbar）

2-2 托（Torr），1Torr即1mmHg。Torr 参照国际单位制（简称SI）制订的中华人民共和国法定计量单位规定压强单位为Pa(帕），两种单位之间换算关系为1托=133.322帕。换算关系如下：

1托（Torr）=133.322帕（Pa）=1.33322毫巴（mbar）

2-3 巴（bar），非法定计量单位，即1平方厘米的面积上受到100万达因作用力，压强就是1巴，合100000帕。换算关系如下：

1毫巴（mbar）=7.5×10^-1托（Torr）=10²帕（Pa）

3 等离子清洗机真空压度的测量

用来测量等离子清洗机真空度的仪器是真空计（Vacuum Gauge），又名真空表，其度数反应的是等离子清洗机反应腔室内气压的变化和实时的数值，能否精准测量对等离子表面处理工艺很重要。不同的真空度，等离子体放电状态、等离子密度和特性区别很大。

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