晶圆及晶圆级封装的等离子清洗机有哪些特点?
晶圆(Wafer)清洗分为湿法清洗和干法清洗,等离子清洗属于后者,主要是去除晶圆表面肉眼看不到的表面污染物。其清洗过程就是先将晶圆放入等离子清洗机的真空反应腔体内,然后抽取真空,达到一定真空度后通入反应气体,这些反应气体被电离形成等离子体与晶片表面发生化学和物理反应,生成可挥发性物质被抽走,使得晶圆表面变得清洁并具亲水性。与其他行业比较,晶圆及晶圆级封装的等离子清洗机有哪些特点呢? 1-1 等离子清洗晶圆是在千级以上的无尘室中进行的,对particle的要求极高,任何超标的particle存在,都会造成晶圆不可挽回的缺陷。所以设计等离子清洗机的腔体首先一定要是铝质,而不是不锈钢材质;摆放晶圆的托架滑动部分,要尽量采用不容易产生粉尘和被等离子腐蚀的材料;电极和托架方便拆卸,便于日常维护。 1-2 等离子清洗机反应腔体内的电极间距和层数,以及气路分布,对于晶圆处理的均匀性都重大的影响,这些指标都需要不断试验来优化。 1-3 等离子清洗晶圆的过程中,会产生一定的热量累积,处于工艺的需要,维持电极板的温度在一定范围是必要的,所以通常会给等离子清洗机的电极加上水冷。 1-4 多层电极的等离子清洗机产能比较高,可以根据需要每一层托架上摆放多片晶圆,比较适合于半导体分立器件、电力电子元器件专用4寸及6寸晶圆的光刻底膜去除等。 2 晶圆级封装前处理的等离子清洗机 2-1 晶圆级封装(WLP,Wafer Level Package)是先进的芯片封装方式之一,即整片晶圆生产完成后,直接在晶圆上面进行封装和测试,然后把整个晶圆切割开来分成单颗晶粒;电气连接部分采用用铜凸块(Copper Bump)取代打线(Wire Bond)的方法,所以没有打线或填胶工艺。 2-2 晶圆级封装前处理的目的是去除表面的无机物,还原氧化层,增加铜表面的粗糙度,提高产品的可靠性。 2-3 晶圆级封装前处理的等离子清洗机由于产能的需要,真空反应腔体、电极结构、气流分布、水冷装置、均匀性等方面的设计会有显著区别。 2-4 芯片制作完成后残余的光刻胶无法用湿式法清洗,只能通过等离子的方式进行去除,然而光刻胶较厚无法确定,所以需要去调整相应的工艺参数。 3 等离子清洗晶圆的效果对比 3-1 等离子清洗前的晶圆表面比较光滑,水滴接触角为86度。 3-2 等离子清洗后的晶圆表面有机物去除彻底,并形成一定的粗糙度,水滴接触角下降到11度。 亲,感谢您耐心的阅读!如果此文对您有所帮助,敬请点个赞或者关注一下;如果您有更好的建议或内容补充,欢迎在下方评论区留言与我们互动。本百家号的宗旨是专注等离子清洗机和低温等离子体的技术研讨,与您分享等离子表面处理工艺、原理及应用等相关知识。 |